Äskettäin kotitaloustieteen ja teknologiayritykset ovat onnistuneesti kehittäneet uuden tyyppisen pii -karbidikeraamisen materiaalin, jonka puhtaus on jopa 99 . 999%, ja tämä läpimurto parantaa merkittävästi puolijohdevalmistuslaitteiden suorituskykyä ja luotettavuutta . puolijohdeprosessien solmujen jatkuessa, kutistumisessa, avainosien ja aineellisten osien vaatimusten kanssa; Tämä teknologinen läpimurto kotimaan puolijohdelaitteiden päivitykseen tarjoaa tärkeän materiaalien tuen.
Tekniset läpimurtokohteet:
1. Erittäin korkea puhtaushallinta: Metallin epäpuhtaussisältöä ohjataan alle 0 . 1ppm innovatiivisen höyryn vaiheen kerrostumisprosessin ja puhdistustekniikan avulla, täyttäen 7nm: n ja sen alempiin prosessien alapuolelle.
2. Erinomainen lämmönsuorituskyky: Vakaa suorituskyky 1000 asteessa lämmönjohtavuuteen 270W/MK .
3. Erinomainen korroosionkestävyys: resistentti vahvoille hapoille, vahvoille emäksille ja plasman syövyttäville ympäristöille .
Puolijohdelaitteiden sovellusetuja:
1. etsauslaitteet: Käytetään ontelon vuorausmateriaalina metallin saastumisen vähentämiseksi ja syövytyksen tasaisuuden parantamiseksi
2. Epitaksiaalinen kasvu: Käytetään lokeroina ja emäksinä epitaksiaalikerroksen laadun varmistamiseksi .
3. ionin implantaatio: Korvaa perinteiset kvartsikomponentit ja laajentaa laitteiden ylläpitovälejä .
Ceramicstimes-asiantuntija sanoi: "Puolijohdevalmistus on siirtymässä kohti hienompia prosessisolmuja, ja korkean säilytyspilakarbidikeramiikasta tulee avainmateriaali seuraavan sukupolven laitteille . Tämä läpimurto vähentää tehokkaasti Kiinan riippuvuutta puolijohdelaitteiden tuoduista materiaaleista ."
Tällä hetkellä materiaali on läpäissyt suurten kotimaisten puolijohdelaitteiden valmistajien tarkistustestit, ja sen odotetaan saavuttavan massatuotannon 2024. neljännellä vuosineljänneksellä kehittyvien tekniikoiden, kuten 5G: n ja keinotekoisen älykkyyden, nopealla kehityksellä, markkinoiden kysyntä korkean varjoisen piin markkinoiden koon jatkavan globaalin markkinoiden koon kanssa.
Liiketoiminnan dynamiikka:
Ceramicstimes sijoitti 500 miljoonaa yuania erityisen tuotantolinjan rakentamiseen. Projektin vuotuisen tuotantokapasiteetin valmistuminen enintään 200, 000 -kappaleet vastaavat tehokkaasti kotimaisten puolijohdelaitteiden valmistajien tarpeita . samanaikaisesti, yritystoiminta työskentelee useamman tutkimuslaitoksen kanssa. ratkaisut .
Tämä teknologinen läpimurto ei vain täytä kotimaisen korkean puhtaan piikarbidikeramiikan tyhjän, riippumattomamman hallinnan Kiinan puolijohdelaitteista tarjoaa tärkeän materiaalitakuun, edistää voimakkaasti puolijohdeteollisuusketjun . lokalisointiprosessia .}}}}}}
